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VICERRECTORADO DE INVESTIGACIÓN
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Letras Universidad de Sevilla

(XPS/ESCA)

Dotación instrumental

  • Espectrómetro de Fotoelectrones "Leybold-Hereus" mod. LHS-10/20, compuesto de:
  • Analizador multicanal EA200 que permite el registro de espectros con una alta sensibilidad y resolución con dispositivos para análisis de áreas pequeñas que permite seleccionar una zona superficial (de orden de 100 micras) para realizar el análisis.
  • Sistema digital de Control del registro de los espectros. Las ventajas de este procedimiento son indudables para mejorar la relación señal/ruido para la detección de componentes minoritarios y para el posterior tratamiento matemático de las señales (detección 1%).
  • Sistema de entrada de muestras por medio de barra deslizante que no altera las condiciones de vacío externo (10-10 torr) en la cámara de análisis, lo que permite un análisis rápido de muestras.
  • Precámara de tratamientos, en la que es posible someter a las muestras a tratamientos térmicos (-70 a +1000ºC) bajo diversas atmósferas (vacío, H 2 , O 2 , CO, C 2 H 4 , etc.) en condiciones controladas e introducidas después, sin contacto con el aire, en la cámara de análisis. En esta última se pueden hacer tratamientos controlados en diversas atmósferas y calentamientos (hasta 1000ºC) a vacío (10-9 torr) con análisis simultáneo de los gases desorbidos.
  • Espectrometro de Masas incorporado que permite seguir los gases desorbidos de las muestras desde -70 a 600C dentro de la propia cámara de análisis.
  • Cañón de iones que, mediante bombardeo de las muestras con iones Ar+ acelerados a distintas energías (0.5-10 KV), produce un debastado superficial de forma controlada lo que permite realizar análisis de perfiles de composición en profundidad de las muestras

SISTEMA DE ESPECTROSCOPÍA DE FOTOELECTRONES DE RAYOS X (XPS-ESCA)

(XPS/ESCA)

  • Cámara de análisis. Sistema UHV-Análisis
    • Sistema de ultra alto vacío para la cámara de análisis
    • Sistema de medida de presión para la cámara de análisis
    • Espectrómetro de masas, cuadrupolo
    • Puntero láser
    • Sistema óptico para el posicionamiento y seguimiento de las muestras en la cámara de análisis.
  • Manipulador de muestra de alta precisión
  • Fuente de rayos X, XR-50
    • Sistema de retracción en Z para la fuente XR-50
  • Fuente monocromática de rayos X, FOCUS 500
  • Cañón de electrones espectroscopía Auger de ala resolución, EQ 2735
  • Evaporador múltiple de cuatro posicione independientes, EBE-4-2L2FAnalizador de energía PHOIBOS 150 9MCD para XPS, UPS, AES, SAM, ISS, LEIS
  • Analizador de energía PHOIBOS 150 9MCD para XPS, UPS, AES, SAM, ISS, LEIS
  • Fuente de electrones para compensación de cargas, FG 15/40
  • Fuente de iones para decapado, IQE 11/35
  • Sistema de Fuente de iones IQE 12/38 para limpieza, y espectroscopía ISS
    • Espectroscopía ISS
    • Unidad de bombeo diferencial
    • Entrada de gases para la cámara de alta presión y para la unidad de decapado iónico
  • Sistema de introducción de muestra, load-lock/cámara de preparación.
  • Cámara de alta temperatura y presión.
Vicerrectorado de Investigación. Universidad de Sevilla. Pabellón de Brasil. Paseo de las Delicias s/n. Sevilla