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Responsable: Antonio Luque Estepa
Tipo de Proyecto/Ayuda: Contrato 68/83
Referencia: PI-0847/2011
Fecha de Inicio: 01-09-2011
Fecha de Finalización: 01-10-2013

Empresa/Organismo financiador/es:

• ARCELORMITTAL ESPAÑA CSC S.L.

Resumen del proyecto:

Este proyecto consiste en la realización de un inclinómetro MEMS para medición de inclinación de ampuesas. El inclinómetro será diseñado y simulado para poder ser fabricado en silicio usando el proceso PolyMUMPS de MEMSCAP a través de Europractice. Este proceso incluye tres capas de silicio policristalino, dos de óxido de sacrificio y una de metal. El polisilicio se usará para construir la masa de prueba y los electrodos de sensado, después de eliminar el óxido y liberar la estructura. La salida del inclinómetro es capacitiva, y se convertirá a información digital usando un convertidor comercial. El montaje del inclinómetro sobre PCB se realizará en las instalaciones de AICIA, y posteriormente el PCB final se instalará en planta para su verificación. Durante todo el diseño y fabricación se perseguirá el objetivo de proporcionar la mayor sensibilidad a la inclinaciión posible.